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探讨真空镀膜机的构造

      发布时间:2017-03-10

      经常听朋友们真空镀膜设备,如今一说到真空镀膜,大家的脑海里都或多或少的有印象, 真空镀膜机是镀膜最广泛,最受欢迎市场上的镀膜的设备,无论是从设备的性能上,还是效率上都大大提高了企业的生产。不得不说真空镀膜机的出现符合了市场的发展变化,是企业的需要和行业的需要。下面我们简答的概述一下镀膜机的构造吧。真空镀膜机是由:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统组成。
      1、真空腔。根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
      2、辅助抽气系统。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成 。
      3、排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。
      4、机械泵有很多种,常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式)四种类型。
      5、机械泵常常被用来抽除干燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体,机械泵一般被用来抽除永久性的气体,但是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。
      6、增压泵又叫罗茨泵。它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵。
      7、 真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计,绝对真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。
      8、蒸发系统。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式。
      9、成膜控制系统。薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。


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